વેફર લિથોગ્રાફી પ્રક્રિયા માટે યોગ્ય નિકાલજોગ ગ્લોવ્સ કેવી રીતે પસંદ કરવા?

સેમિકન્ડક્ટર વેફર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં, લિથોગ્રાફી પ્રક્રિયા એક મહત્વપૂર્ણ, ચોકસાઇ-સંચાલિત પગલું છે જે ચિપ ઉપજ નક્કી કરે છે. વેફર ફેબ્રિકેશન પ્રક્રિયામાં "એક્સપોઝર અને ઇમેજિંગના મુખ્ય ભાગ" તરીકે, લિથોગ્રાફી સમગ્ર કાર્યપ્રવાહને સમાવે છે - જેમાં સ્પિન કોટિંગ, એક્સપોઝર, વિકાસ, એચિંગ અને વેટ ક્લિનિંગનો સમાવેશ થાય છે - અને પર્યાવરણીય સ્વચ્છતા, અશુદ્ધિ નિયંત્રણ, ઇલેક્ટ્રોસ્ટેટિક સંરક્ષણ અને રાસાયણિક પ્રતિકાર પર અત્યંત કડક આવશ્યકતાઓ લાદે છે. માઇક્રોન-સ્તરના ધૂળના કણો, ટ્રેસ આયન સ્થળાંતર અને ક્ષણિક ઇલેક્ટ્રોસ્ટેટિક ડિસ્ચાર્જ સીધા ફોટોરેઝિસ્ટ ખામીઓ, પેટર્ન ખોટી ગોઠવણી, વેફર ઓક્સિડેશન અને સર્કિટમાં માઇક્રો-શોર્ટ સર્કિટનું કારણ બની શકે છે, જેના કારણે સમગ્ર વેફર સ્ક્રેપ થઈ જાય છે અને મોટા પાયે ઉત્પાદન નુકસાન થાય છે. ઘણા FAB તેમની ફોટોલિથોગ્રાફી પ્રક્રિયાઓની ઉપજ સુધારવા માટે સંઘર્ષ કરે છે. જ્યારે સાધનો, પ્રક્રિયાઓ અને પર્યાવરણીય પરિમાણો બધા ક્રમમાં હોય છે, ત્યારે પણ અવરોધ ઘણીવાર દેખીતી રીતે નજીવી હાથ સુરક્ષા ઉપભોક્તા વસ્તુઓમાં રહેલો હોય છે. સામાન્ય વર્ગ 1,000 અથવા ઔદ્યોગિક-ગ્રેડ ક્લીનરૂમ ગ્લોવ્સ ફોટોલિથોગ્રાફી પ્રક્રિયાના અતિ-ઉચ્ચ ધોરણો માટે સંપૂર્ણપણે અયોગ્ય છે.

લિથોગ્રાફી પ્રક્રિયામાં સામાન્ય ક્લીનરૂમ ગ્લોવ્સનો ઉપયોગ શા માટે સખત પ્રતિબંધિત છે?

પાવડરના અવશેષો ફોટોરેઝિસ્ટ દૂષણનું કારણ બને છે

વધુ પડતા સલ્ફર અને ક્લોરાઇડ આયનો વેફર પરના સર્કિટને કાટ કરે છે

સ્થિર વીજળી નિયંત્રણ બહાર ગઈ, જેના કારણે ચોકસાઇ ફોટોલિથોગ્રાફી વેફરમાં ભંગાણ થયું.

ફ્લેકિંગ અને શેડિંગ, જેના કારણે ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં વિદેશી પદાર્થોમાં ખામીઓ થાય છે

LjieClean ક્લાસ 100 પાવડર-મુક્ત નાઇટ્રાઇલ ગ્લોવ્સ

સુઝોઉ લીડર સેમિકન્ડક્ટર વેફર મેન્યુફેક્ચરિંગ સેક્ટર પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરી રહ્યું છે અને લિથોગ્રાફી પ્રક્રિયામાં મુશ્કેલીઓ દૂર કરવા માટે, અમે વિશિષ્ટ ક્લાસ 100 પાવડર-મુક્ત, ઓછા ગેસિંગ નાઇટ્રાઇલ ગ્લોવ્સ વિકસાવ્યા છે જે સમગ્ર વેફર લિથોગ્રાફી પ્રક્રિયાની ઉત્પાદન જરૂરિયાતોને સંપૂર્ણ રીતે પૂર્ણ કરે છે, જે તેમને અસંખ્ય ફેબ્સ અને વેફર પેકેજિંગ અને પરીક્ષણ કંપનીઓ માટે પસંદગીના રક્ષણાત્મક ઉપભોક્તા બનાવે છે.

૧.ડાયક્લોરાઇડ-આધારિત પાવડર-મુક્ત પ્રક્રિયા: ફોટોલિથોગ્રાફી પ્રક્રિયામાં કોઈ પાવડર દૂષણ નથી

સેમિકન્ડક્ટર-વિશિષ્ટ ક્લોરિનેશન શુદ્ધિકરણ પ્રક્રિયાનો ઉપયોગ કરીને, આ પદ્ધતિમાં સમગ્ર પ્રક્રિયા દરમિયાન ટેલ્ક, કોર્નસ્ટાર્ચ અથવા સિલિકોન તેલ જેવા સહાયક ઉમેરણો ઉમેરવાની જરૂર નથી. તે પ્રક્રિયા દરમ્યાન જ સરળ ઉપયોગની ખાતરી કરે છે, પાવડર કણો અને સિલિકોન તેલના અવશેષોને દૂર કરે છે જે સ્ત્રોત પર ફોટોરેઝિસ્ટને દૂષિત કરે છે, જેનાથી ફોટોલિથોગ્રાફી પ્રક્રિયામાં વિદેશી કણોની ખામીઓ સંપૂર્ણપણે દૂર થાય છે.

૨ મલ્ટી-સ્ટેજ અલ્ટ્રાપ્યોર પાણીથી કોગળા કરવાથી સલ્ફરનું પ્રમાણ ઓછું, ક્લોરિનનું પ્રમાણ ઓછું અને આયનનું પ્રમાણ ઓછું થાય છે.

ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા પાણીથી ઊંડા કોગળા કરવાના અનેક ચક્રો દ્વારા, કાચા માલના ઉમેરણો અને સપાટીના અવશેષો દૂર કરવામાં આવે છે. સલ્ફર, ક્લોરિન અને દ્રાવ્ય ધાતુ આયનોનું પ્રમાણ સખત રીતે નિયંત્રિત થાય છે, જેના પરિણામે NVR (નોન-વોલેટાઇલ અવશેષ) ઓછું થાય છે. આ વેફર ઓક્સિડેશન, કોટિંગ કાટ અને એચિંગ ખામીઓને અટકાવે છે, જે મોજાને 8- અને 12-ઇંચ વેફર્સ માટે માંગણી કરતી લિથોગ્રાફી પ્રક્રિયાઓ સાથે સંપૂર્ણપણે સુસંગત બનાવે છે.

ઇલેક્ટ્રોસ્ટેટિક-સંવેદનશીલ વેફર્સને સુરક્ષિત રાખવા માટે 3 ઇન-મોલ્ડ મોડિફાઇડ ESD પ્રોટેક્શન

કામચલાઉ સ્પ્રે કોટિંગ્સ સાથે વ્યાપારી રીતે ઉપલબ્ધ એન્ટિ-સ્ટેટિક ગ્લોવ્સથી વિપરીત, ગોનાર્સ નાઇટ્રાઇલ બેઝ મટિરિયલ પર ઇન-મોલ્ડ એન્ટિ-સ્ટેટિક મોડિફિકેશન ટેકનોલોજીનો ઉપયોગ કરે છે. આ સ્થિર અને સમાન સપાટી પ્રતિકાર સુનિશ્ચિત કરે છે, સમગ્ર પ્રક્રિયા દરમિયાન સ્થિર વીજળીનો સતત વિસર્જન કરે છે જેથી સ્ટેટિક બિલ્ડઅપને અટકાવી શકાય જે ફોટોરેઝિસ્ટના ભંગાણ અને ચોકસાઇ વેફર સર્કિટને નુકસાન પહોંચાડી શકે છે. તે એક્સપોઝર અને વિકાસ જેવા કોર લિથોગ્રાફી પગલાં માટે યોગ્ય છે.

4લવચીક અને સુઘડ ફિટ, માઇક્રોન-સ્તરની ચોકસાઇ કામગીરી માટે યોગ્ય

ગ્લોવ મટીરિયલ લવચીક છે અને હાથના રૂપરેખાને અનુરૂપ છે. આંગળીના ટેરવા પર નોન-સ્લિપ ટેક્ષ્ચર્ડ ડિઝાઇન ધરાવતું, તે હલકું અને ભારે નથી, જે તેને ફોટોલિથોગ્રાફી વેફર હેન્ડલિંગ, સાધનો ડિબગીંગ અને ચોકસાઇ નિરીક્ષણ જેવા ચોકસાઇ કામગીરી માટે આદર્શ બનાવે છે. તે અનિયંત્રિત હલનચલન પૂરું પાડે છે અને લપસતા અટકાવે છે, મેન્યુઅલ કામગીરી દરમિયાન આકસ્મિક મુશ્કેલીઓથી થતા નુકસાનને અસરકારક રીતે ઘટાડે છે. વધુમાં, તે ફોટોલિથોગ્રાફી સોલવન્ટ્સ અને હળવા એસિડ અને આલ્કલીસ સામે પ્રતિરોધક છે, અને લાંબા સમય સુધી ઉપયોગ દરમિયાન પણ વૃદ્ધત્વ કે ફાટ્યા વિના ટકાઉ રહે છે.

5

✅ ડબલ-લેયર વેક્યુમ-સીલ્ડ પેકેજિંગ ગૌણ દૂષણને દૂર કરે છે

ફિનિશ્ડ પ્રોડક્ટ્સને સમગ્ર પ્રક્રિયા દરમ્યાન ક્લાસ 100 ક્લીનરૂમમાં ડબલ-લેયર વેક્યુમ-સીલ્ડ પેકેજિંગનો ઉપયોગ કરીને પેક કરવામાં આવે છે, જે તેમને સંગ્રહ અને પરિવહન દરમિયાન ધૂળ અને ભેજથી સંપૂર્ણપણે અલગ કરે છે. પેકેજ ખોલ્યા પછી કોઈ ગૌણ દૂષણ થતું નથી, જેના કારણે તેમને ક્લાસ 100 લિથોગ્રાફી ક્લીનરૂમમાં તરત જ ઉપયોગમાં લઈ શકાય છે.